重庆铜梁区特气管路水氧颗粒检测

水分、氧分、颗粒检测（三台仪器并联使用） 测试目的和测试标准

　　水分检测的目的主要是为了避免管道内水含量过高时，会发生化学反应，对制程造成影响。氧分检测的目的主要是为了避免管道内氧含量过高时，会发生化学反应，对制程造成影响。例如，芯片在生产过程中，原本大气中O2会和Si产生化学反应：O2+Si=SiO2,为原始的氧化成，如果管道内的氧含量过高，原始的氧化层会超出原本已经计算好的厚度，如此会严重影响各阶段的制程。颗粒检测主要是检测管道内微粒子的粒径大小和数量多少。如果管道内微粒子过多会对Wafer良率影响很大。检测标准：水分检测≤10ppb氧分检测≤10ppb颗粒检测0.1um≤5pcs,0.1um以上为0pcs

　　重庆科洋检验检测有限公司是一家依法成立并能够承担相应法律责任的第三方检测中心，在无锡、武汉、重庆地区均设有办事处。实验室已通过RB/T214-2017《检验检测机构资质认定能力评价 检验检测机构通用要求》及《检验检测机构资质认定生态环境监测机构评审补充要求》的评审，经江苏省市场监督管理局授权，获得CMA资质许可。

　　主要核心业务有氮气、氧气、天然气、氩气、氢气、二氧化碳、压缩气体、电子工业用气体等、高纯气体、食品用气体、医用气体的检测、现场气体有害物质监测、各类金属项目检测、焊接工艺检测等等。

　　公司拥有从事检测服务的实验室管理人员和技术人员、多种精密检测仪器，能够满足多种检测需求。根据不同类型的产品，为您提供测试服务。真诚为广大企业客户提供服务，热烈欢迎广大客户到我中心洽谈业务。