六氟化硫的化学性质非常稳定,在空气中不燃烧,不支撑燃烧,不与水、强碱、氨、、等反应。SF6具有良好的热稳定性,在常温或高温状态下不会发生,SF6的热分解温度约为500°c,但由于特定金属的存在,SF6的稳定性大大降低,其热分解温度从°150结果超过200·气温达到150℃,六氟化硫开始慢慢变成板硫化,六氟化硫在铝或铜存在的情况下约200℃开始分解。250岁时,他开始与反应,生成。但是,在223°c时,将各种金属放入六氟化硫气体中进行270次测试的结果表明,腐蚀程度仍然可以忽略不计。
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