半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,AlGaN材料XRD机构,以及行业应用技术开发。
如何在Jade中采用Sherrer公式计算晶粒尺寸?
Jade软件中直接集成了采用半峰宽来计算样品的晶粒尺寸这一功能,比较方便。要想使用该功能,首先必须在Edit-->Preferences-->Report里面勾上,EstimateCrystallite Size from FWHMValues。勾上之后就可以很方便的进行粒径分析了,如下图所示,采用EditToolbar中的积分按钮,在主峰下拉取基线,会自动弹出窗口,里面包含晶粒尺寸信息。注意,这里算出来的是平均尺寸,且使用范围为3-200nm。
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对样品粉末粒度的要求
任何一种粉末衍射技术都要求样品是十分细小的粉末颗粒,使试样在受光照的体积中有足够多数目的晶粒。因为只有这样,才能满足获得正确的粉末衍射图谱数据的条件:即试样受光照体积中晶粒的取向是完全机遇的。这样才能保证用照相法获得相片上的衍射环是连续的线条;或者,才能保证用衍射仪法获得的衍射强度值有很好的重现性。
此外,重庆AlGaN材料XRD,将样品制成很细的粉末颗粒,还有利于抑制由于晶癖带来的择优取向;而且在定量解析多相样品的衍射强度时,可以忽略消光和微吸收效应对衍射强度的影响。所以在精u确测定衍射强度的工作中(例如相定量测定)十分强调样品的颗粒度问题。
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其内部结构包括:
1、高稳定度X射线发生器及防护系统
2、测角仪(卧式或立式)
3、冷却循环水装置(一体或分体)4、数字化记录控制单元及探测器
5、衍射仪操作系统及应用分析软件包6、高i性能计算机及技术资料和配件
打开冷却水及XRD衍射仪电源,前期预冷半小时,打开计算机,放入样品,打开衍射仪操作软件,设置参数后衍射仪进入工作,数据经探测器显示在衍射仪操作软件上,数据采集结束后,保存数据。
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